プラズマCVD法によるグラフェンの作製と評価

・グラフェンとは・・・

炭素原子が六員環状に展開した二次元のシート状の物質のこと

→主な特徴　高い移動度(約２０００００cm^-1)，約９８%の光透過率

高い耐電流密度，熱伝導性　etc…

　　(wikiより引用)

グラフェンのイメージ図

次期半導体素子の材料としてグラフェンが注目されている！！

(現在，世界中のあらゆる大学や機関等で研究がされている超ホットな分野)

しかし，グラフェンを実際に応用するためには・・・

大面積・均一な単層グラフェンを作製することが必要！

よって本研究では・・・

μ波プラズマ支援熱CVD法でグラフェンを作製・評価をしていくことが目的