| 研究概要 「ナノテクノロジーとデバイス・エネルギー・宇宙」 |
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本研究室では、先端電子材料であるカーボンナノチューブや半導体プロセスに関する研究・開発を行っています。中でもプラズマを用いることに特徴があります。 カーボンナノチューブ カーボンナノチューブとは、機械的強度及び熱的強度に優れており、化学的に安定な電子材料です。これらの性質からフラットパネルディスプレイ（ＳＥＤ）の電子源や太陽熱発電、ガス貯蔵などへの利用が期待されています。そこで本研究室では、カーボンナノチューブを作製し、それらの物性について評価しています。微粒子プラズマ ダストを含むプラズマ（微粒子プラズマ）の 基礎物性を研究しています。現在、国際宇宙ステーションでの実験プロジェクトにも参加しています。プラズマエッチング 次世代の超大規模集積回路（ULSI）におけるトランジスタ材料の加工プ ロセスを開発しています。具体的には、フッ素系プラズマを用いて高誘電率ゲート絶縁膜の加工速度や特性、エッチング機構を知ることを目的として研究しています。 |
