京都工芸繊維大学 電子システム工学専攻
電子物性工学研究室(林・高橋研究室)

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研究テーマ紹介

 

■大気圧プラズマの診断・計測・応用

医療応用のための大気圧プロセスプラズマの解析PDF

大気圧プラズマにおける細菌および培養細胞への影響の評価PDF

大気圧プラズマ装置の開発とその応用

大気圧プラズマ滅菌における窒素の影響と評価

■プラズマプロセスによる材料作製及び加工・解析

次世代半導体デバイスのためのプラズマエッチングプロセスの開発

マグネトロンスパッタ法を用いた透明導電膜の作製

フルオロカーボンプラズマにおける高誘電率膜のエッチング機構の解析

■ナノカーボン材料の作製・評価とその応用

プラズマCVD法を用いたグラフェンの作製

プラズマCVD法を用いた高結晶性グラフェンの作製

グラフェンの光反射による解析

水素貯蔵を目指した単層カーボンナノチューブの作成

カーボンナノチューブによる3次元LSIの配線材料への応用

配向カーボンナノチューブの電子源への応用に向けた基礎特性の評価

配向カーボンナノチューブを用いたスーパーキャパシタへの応用

プラズマ気相中における微結晶(ナノダイヤモンド,ナノSiC)成長過程の解析

■微粒子プラズマの研究及び応用

国際宇宙ステーションを利用した微粒子プラズマの研究

無重力環境下微粒子プラズマにおけるクーロン結晶の解析